电子工业废气处理工程设计标准GB51401-2019

1总 则

1 总 则

1.0.1 为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定，规范工程的设计内容和深度，提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术先进、经济合理、保证设计质量和安全的要求，制定本标准。
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1.0.1 本条规定了制定本标准的目的。电子工业废气处理工程是电子工业建设领域中一个不可缺少的组成部分，制定本标准的宗旨就是通过本标准的实施，促进电子工业建设在确保电子产品质量所需要的生产条件前提下，积极采用国内外的先进生产工艺、清洁生产技术和先进减排技术，降低电子产品生产过程对环境的污染，为建设环境友好型和资源节约型社会创造条件。

1.0.2 本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。
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1.0.2 本条规定了本标准的适用范围。本标准适用新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。这里所指的电子工业，一般包括电子产品和材料制造工厂、研究所、实验室等。

1.0.3 电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
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1.0.3 本条规定了本标准与其他标准、规范、法规的衔接。根据国家主管部门有关工程建设标准编写规定，为了精简标准内容，凡引用或按其他全国通用的设计标准规定的内容，除必要之外，本标准不再另设条文。本条强调设计中除应执行本标准外，还应执行与设计内容相关的安全、环保、节能、卫生等方面的国家现行的有关标准、规范和法规的规定。

2术 语

2 术 语

2.0.1 封闭箱体 enclosure
实体的结构物，用于区隔具有排风设施的空间与其他有或无排风设施的空间。
2.0.2 设备排风静压 exhausting static pressure of equipment
需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内压力与设备所处环境压力之差，通常为负值，单位为Pa。
2.0.3 不相容 incompatible
化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法控制的状况，其释放的能量可能引起危险。
2.0.4 局部排风 local exhaust
局部排风的工作原理是在污染源或其邻近处捕集污染物，并将其排至外界环境，通常会经过空气净化或污染因子破坏的处理装置。
2.0.5 酸性废气 acid contaminated exhaust
企业厂区内燃料燃烧和生产工艺过程中产生的酸性污染物气体的总称，通常溶于水中会发生反应，形成弱酸，包括二氧化硫、硫化氢、氟化物、氯、氯化氢、磷酸、硝酸、硫酸等。
2.0.6 碱性废气 alkaline contaminated exhaust
生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称，通常能与酸作用生成盐类化合物，包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。
2.0.7 特种废气 special contaminated exhaust
电子产品生产过程中化学气相淀积、扩散、外延、离子注入、干法刻蚀等工艺设备散发的含有毒性、腐蚀性、氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物质的废气。
2.0.8 全氟化合物 perfluorocompounds(PFCs)
电子工业生产过程中化学气相淀积、干法刻蚀等工序使用的具有高全球变暖潜能(GWP)的氟化合物，包括全氟化合物和氢氟碳化物(HFCs)，如四氟化碳(CF₄)、六氟乙烷(C₂F₆)、八氟丙烷(C₃F₈)、八氟环丁烷(c-C₄F₈)、三氟化氮(NF₃)、六氟化硫(SF₆)和三氟甲烷(CHF₃)。上述的全氟化合物和氢氟碳化物在工业界统称为全氟化合物。
2.0.9 立即危害生命和健康浓度 immediately dangerous to life and health(IDLH)
对生命产生即刻危害，并对健康造成不可逆的不良影响的环境浓度，或使人降低逃生能力的环境浓度。
2.0.10 限流阀 restricted-flow orifice
置于气瓶阀体内，把最大流量限制在一定范围内的装置。
2.0.11 挥发性有机物volatile organic compounds(VOCs)
沸点在50℃～250℃间，温度293.15K时蒸汽压大于或等于0.01kPa，或者能够以气态分子的形态排放到空气中的所有有机化合物，但不包括甲烷。
2.0.12 尾气处理设备 point-of-use abatement(POU)
安装在工艺生产设备附近，并对其排出的尾气进行处理的设备，通常也称排风预处理设备或就地尾气处理设备。
2.0.13 中央废气处理系统 centralized abatement system
通常位于废气系统的末端，在废气排入大气前对其所含的特定污染因子做最终的消减处理，并达到规定的排放浓度或标准的处理系统。
2.0.14 转轮浓缩系统 rotor-concentrator system
挥发性有机物废气通过转轮的吸附区域后，其污染因子能被有效地吸附于转轮的吸附材料中，并在转轮的脱附区域被小流量高温空气脱附，使低浓度、大风量挥发性有机物废气浓缩为高浓度、小风量的挥发性有机物废气的系统。
2.0.15 蓄热氧化系统 regenerative thermal oxidizing system
通过蓄热床吸收高温烟气的热量，并预热未经处理的低温废气，吸热升温后的废气通过高温裂解破坏其污染因子结构的系统。
2.0.16 填料洗涤式废气处理设备 packed-bed scrubber
经由填料增加气液废气接触面积的废气处理设备，包括本体、填料层、除雾层、循环喷淋系统、循环泵、储液槽及控制系统等的废气处理设备，通常分为水平式和垂直式。
2.0.17 压入式废气处理系统 blow-through abatement system
风机位于废气处理设备气流上游，废气处理设备相对于所处环境为正压的处理系统。
2.0.18 吸入式废气处理系统 drawing out abatement system
风机位于废气处理设备气流下游，废气处理设备相对于所处环境为负压的处理系统。
2.0.19 吹吸式废气处理系统 blow-draw abatement system
废气处理设备的进、出口均设置风机，废气处理设备相对于所处环境为微负压或微正压的处理系统。
2.0.20 时间加权平均容许浓度 permissible concentrationtime weighted average(PC-TWA)
以时间为权数规定的8h工作日、40h工作周的平均容许接触浓度。
2.0.21 短时间接触容许浓度 permissible concentration-short term exposure limit(PC-STEL)
在遵守PC-TWA前提下容许短时间(15min)接触的浓度。
2.0.22 最高容许浓度 maximum allowable concentration(MAC)
工作地点空气中有害物质不应超过的浓度。

3基本规定

3 基本规定

3.0.1 产生有害物质的工艺生产设备，宜采用自动化，并应采取密闭、隔离和负压操作措施。对生产过程中不可避免放散的有害物质在排放前，应采取净化处理措施，并应达到有关污染物排放标准。
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3.0.1 本条规定了对有害物的控制及工艺设备的要求。
对于产生有害物质的工艺生产设备采用自动化、密闭、隔离和在负压下操作的措施，可以避免直接操作，并改善工作人员的工作条件。
对生产过程中不可避免产生的有害物质在排放前进行净化处理，以符合国家现行标准《大气污染物综合排放标准》GB?16297等有关大气污染物排放标准的要求。大气排放除执行污染物最严格的排放浓度标准外，还需要符合污染物总量控制的要求。

3.0.2 排风系统应按废气种类和不相容原则设置。
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3.0.2 电子工程中，依废气污染物种类通常将工艺废气划分为酸性废气、碱性废气、挥发性有机物(VOCs)废气、特种废气、含尘废气、焊锡烟气、玻璃窑炉废气等，通常情况下同类废气可以合并，不相容的废气分开设置排风系统。

3.0.3 下列情况之一时，应单独设置排风系统：
1 不同排风点不同的有害物质混合后能引起燃烧或爆炸；
2 混合后能产生或加剧腐蚀性或毒性；
3 混合后易使蒸汽凝结并聚积粉尘；
4 散发极毒和剧毒物质的房间和设备；
5 排风中含有燃烧爆炸性气体。
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3.0.3 本条规定了排风系统的划分原则，是强制性条文，必须严格执行。
1 防止不同种类和性质的有害物质混合后引起燃烧或爆炸事故。
2 避免形成新的毒性、腐蚀性的混合物或化合物，或生成毒性、腐蚀性更大的混合物或化合物，对人体造成危害或腐蚀设备及管道，如散发氰化物的电镀槽与酸洗槽散发的气体混合时生成氢氰酸，毒害更大。
3 为防止或减缓蒸汽在风管中凝结聚积粉尘，从而增加风管阻力甚至堵塞风管，影响通风系统的正常运行。
4 避免极毒和剧毒物质通过排风管道及风口窜入其他房间，如将放散砷烷、磷烷、乙硼烷、铅蒸气、汞蒸气和氰化物等极毒和剧毒气体的排风与其他房间的排风设为同一系统时，当系统停止运行，极毒和剧毒气体可能通过风管窜入其他房间；极毒物质是指车间空气中有害物质的最高允许浓度小于0.1mg／m3的物质；剧毒物质是指车间空气中有害物质的最高允许浓度小于0.1mg／m³～1mg／m³的物质。
5 避免燃烧爆炸性气体通过排风管道及风口窜入其他房间。

3.0.4 当排风点需求压力相差250Pa以上，且所需压力绝对值的较大值出现在系统后三分之一管路时，宜分别设置排风系统。
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3.0.4 规定此条主要是考虑节能，当个别排风点的需求压力较高，且又出现在系统后三分之一管路时，势必使整个排风系统的需求压力提高，这是不合理的，最好分别设置系统。

3.0.5 排气系统宜按照最大产能时的各工艺设备排气量计算，并据此确定废气处理系统的风量和排风管尺寸。

3.0.6 排风系统设计应符合下列规定：
1 含有燃烧爆炸性物质的局部排风系统应按物理化学性质采取相应的防火防爆措施；
2 排风中污染物浓度或排放速率超过国家和地区污染物排放标准时，应进行净化处理。
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3.0.6 本条涉及排风系统安全、稳定运行以及大气污染问题。
1 一些电子工厂洁净厂房内使用各类品种、一定数量的燃烧爆炸性物质，通常在使用这些物质的生产设备均设有局部排风系统，为此要采取技术措施防止这些物质的排风系统对所在厂房的安全造成危害，所以本款规定为强制性条文，必须严格执行。
2 电子工厂如芯片制造生产设备的局部排风系统中有毒有害物质主要有：酸碱类：氢氟酸(HF)、盐酸(HC₁)、硫(H₂SO₄)、硝酸(HNO₃)、氨(NH₃)等；有机类：异丙醇(IPA)、三氯甲烷(CHCl₃)、六甲基二硅胺(HMDS)、丙酮等；特种气体：砷烷(AsH₃)、硅烷(SiH₄)、磷烷(PH₃)、硼烷(B₂H₆)、三氟化氮(NF₃)、六氟化钨(WF₆)、三氯氢硅(SiHCl₃)、四氟化碳(CF₄)、六氟化硫(SF6)、一氧化二氮(N₂O)等，这些物质大部分对人类生存环境具有巨大的危害性，因此要求需根据国家和地区污染物排放标准进行净化处理。

3.0.7 排除有燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量应经计算确定，并应符合下列规定：
1 采用局部排风系统时，其风量应按在正常运行和事故情况下风管内燃烧爆炸性危险物质的浓度不大于爆炸下限的50％计算。
2 有燃烧爆炸性区域的排风量，应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。
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3.0.7 本条规定了燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量确定原则，是为了保证安全。

3.0.8 废气处理系统的设备符合下列条件之一时，应采用防爆型：
1 直接布置在爆炸危险性区域内时；
2 排除、输送或处理有甲、乙类物质，其浓度为爆炸下限10％及以上时；
3 排除、输送或处理有燃烧或爆炸危险的粉尘、纤维物质，其含尘浓度为其爆炸下限的25％及以上时。
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3.0.8 本条规定了采用防爆型废气处理系统设备的条件，为强制性条文，必须严格执行。
直接布置在有爆炸危险场所中的废气处理系统设备，用于排除、输送或处理甲、乙类物质的废气处理系统设备以及排除、输送或处理含有燃烧或爆炸危险的粉尘、纤维物质，其含尘浓度高于或等于其爆炸下限的25％时，或含甲、乙类物质的浓度高于或等于其爆炸下限值的10％时，由于设备内或外的空气中均含有燃烧或爆炸危险性物质，遇火花即可能引起燃烧或爆炸事故，为此规定其废气处理系统的设备要采用防爆型。

3.0.9 当排风中含有的燃烧或爆炸危险物质可能出现的最高浓度超过爆炸下限值的10％时，废气处理系统的设备、风管和配件应符合下列规定：
1 风管和配件应采用金属材料制作；
2 设备和风管均应采取防静电接地措施；
3 当风管和配件的法兰密封垫或螺栓垫圈采用非金属材料时，应采取法兰跨接措施。
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3.0.9 本条规定了废气处理系统的设备、风管和配件的防静电接地要求。
当静电积聚到一定程度时，就会产生静电放电，即产生静电火花，使可燃或爆炸危险物质有引起燃烧或爆炸的可能。因此做了如条文中的有关规定。
法兰跨接系指风管法兰连接时，法兰间密封垫或法兰螺栓垫圈常常采用橡胶材料，故两法兰之间需用金属线跨接。

3.0.10 有爆炸危险厂房内的排风风管，严禁穿过防火墙和有爆炸危险的车间隔墙。
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3.0.10 本条规定了排风风管布置原则，为强制性条文，必须严格执行。
有爆炸危险的厂房、车间发生事故后，火灾容易通过排风管道蔓延扩大到建筑的其他部位，因此其排风管道严禁穿过防火墙和有爆炸危险的车间隔墙。

3.0.11 含有有毒有害物质或含有爆炸危险性物质的局部排风系统，其排出的气体应排至建筑物的空气动力阴影区和正压区外。
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3.0.11 规定本条的目的是为了使排风系统中含有的有毒有害物质以及局部排风系统中排出的有较高浓度的爆炸危险性物质得以在大气中扩散稀释，以免降落到建筑物的空气动力阴影区和正压区内，污染周围空气或导致向车间内倒流。
“建筑物的空气动力阴影区”指室外大气气流撞击在建筑物的迎风面上形成的弯曲现象及由此而导致屋顶和背风面等处由于静压减小而形成的负压区；“正压区”指建筑物迎风面上由于气流的撞击作用而使静压高于大气压力的区域。一般情况下，只有当它和风向的夹角大于30℃时，才会发生静压增大，即形成正压区。

3.0.12 当风管内可能产生凝结水或其他液体时，风管设计应符合下列规定：
1 排风管道应设置不小于0.5％的坡度；
2 风管的低点应设置观察检修口；
3 风管的低点和排风机的底部应设排液装置，有毒、有害的冷凝液应排至相应的废水管网中；
4 排风管的结构及连接方式应采取防液体渗漏措施。
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3.0.12 本条规定了通风系统排除凝结水的措施。
排除潮湿气体或含水蒸气的排风系统，风管内表面有时会因其温度低于露点温度而产生凝结水。为了防止系统内凝结液腐蚀或堵塞设备及风管，影响排风系统的正常运行，条文中规定水平敷设的风管要有一定的坡度并在风管的低点设置观察检修口，在风管的最低点和通风机的底部设置排除凝结液装置，对于酸、碱、挥发性有机物和特种废气系统产生的冷凝液需排至相应的废水管网中进行再处理。为了防止由于排风管路水密性不好，而发生排风管路中的冷凝液渗漏事故，所以规定排风管路系统要有防渗漏措施。

3.0.13 填料洗涤式废气处理设备的设置应符合下列规定：
1 断面风速宜小于2.5m／s。
2 填料厚度应经计算确定，但不应小于1.2m。
3 喷淋液循环量应取下列两项的较大值：
1)保证每1000m³／h废气量不小于1.5m³／h；
2)保证每平方米填料面积不小于15m³／h。
4 空塔滞留时间宜大于1s。
5 对每种污染物最低净化效率应根据排气筒高度、排放速率等计算确定，且不应低于《环境保护产品技术要求 工业废气吸收净化装置》HJ／T 387的有关规定。
6 严寒地区应设置在室内，寒冷地区宜设置在室内。
7 有冻结可能时，应采取防冻措施。
8 补水不宜采用纯水制备系统的反渗透浓水。
9 排水应接至相应的废水管网中。
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3.0.13 本条规定了填料洗涤式废气处理设备的设置原则。
1 规定断面风速是为了保证废气与洗涤液有充分的接触时间，从而保证处理效率。
2 填料洗涤式废气处理设备的填料厚度对处理效率起到至关重要的作用，填料厚度与断面风速、喷淋循环液流量、待处理污染因子、填料形式等有关，需根据厂家提供的公式计算或曲线查取。
3 喷淋液循环量是保证处理效率又一重要因素，规定第1项是为了保证废气与吸收液进行充分的质交换；规定第2项是为了确保填料充分润湿，这里的填料面积指正对喷淋方向填料横断面面积，对于目前工程中常用的逆向流、交叉流填料洗涤式废气处理设备通常指填料水平断面面积。
4 规定此款是为了保证被处理废气与吸收液有足够的接触时间，从而保证处理效率。
6、7 这两款规定是为了防止废气处理设备发生冻结。
8 有些工程中填料洗涤式处理设备补充水采用纯水制备系统的反渗透浓水，结果纯水制备系统的反渗透浓水中的钙离子大量结积在填料和除雾器上，造成堵塞。另外酸废气洗涤塔是以循环液的导电率来确定是否排水，所以以含盐量较高的纯水制备系统的反渗透浓水作为补水也是不适宜的。如果酸废气洗涤塔内补充再生水，再生水中残留的氨将与酸废气中氟和氯离子生成不易捕集的氟化铵和氯化铵。同样理由，再生水也不适宜作为碱废气洗涤塔的补水。所以填料洗涤式处理设备的补充水一般为自来水。

3.0.14 排风中含有有毒有害物质时，不应采用压入式废气处理系统；排风中含有挥发性有机物污染因子时，宜采用吹吸式废气处理系统。
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3.0.14 本条规定了压入式、吸入式、吹吸式废气处理系统的采用原则。
当排风中含有酸性、碱性、特种等有毒有害污染因子时，如采用压入式废气处理系统，一方面排风机处于高浓度污染因子区，易被腐蚀；另一方面风机出口与废气处理设备间处于高正压，如风管系统密封不好，或软接头破损，部分未经处理的废气将会直接排入大气，污染环境。对于排风中含有挥发性有机物的废气处理系统，综合考虑处理效率、系统泄漏等因素，采用吹吸式废气处理系统，使转轮浓缩机与上游气流风机出口间处于微负压或微正压是较合理的选择。

3.0.15 酸、碱、挥发性有机物废气处理设备的压力损失不应大于1000Pa。
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3.0.15 规定此条主要是为了符合节能要求，处理设备的压力损失指单级填料或单级吸附材料的压力损失，且为运行压力损失，本规定不适合蓄热氧化设备。

3.0.16 废气处理设备不应设置旁路。
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3.0.16 本条是针对以往废气处理系统因设置旁路会经常出现排放超标和短路运行的现象提出的要求。

3.0.17 排风中含有燃烧爆炸性、毒性物质时，排风系统设计应符合下列规定：
1 燃烧爆炸性、毒性物质未经处理的排风管路，应保持相对于路由区域的负压值；
2 中央废气处理系统应按一级负荷供电，一级负荷供电的电量应保证系统排风量不小于正常运行时系统排风量的50％；
3 排风中含有燃烧爆炸性物质时，排风机应设置备用；
4 排风中含有极毒或剧毒物质时，排风机和处理设备均应设置备用。
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3.0.17 本条为强制性条文，必须严格执行。
1 为了避免含有燃烧爆炸性、毒性物质的排气管路向沿程或路由区域泄漏，形成安全事故的发生，本款规定此类排气管路内压力要低于路由区域内的压力，即保持一定的负压值。
在美国消防协会的NFPA318《洁净室消防标准》中的3.2.3条规定：含有危险化学品的废气应经由保持相对于建筑内正常使用区域负压的风管系统传输。但风机、洗涤塔和处理装置的下游除外。
2、3、4 这三款规定是为了提高排风系统和废气处理系统的运行可靠性，防止因设备故障或停电等原因使燃烧爆炸性、有毒物质未及时排走或未得到有效处理而发生事故或污染环境。

3.0.18 废气处理系统的排气筒的设计应符合下列规定：
1 排气筒的高度不应低于15m，且应符合环境影响评价文件的要求；
2 排气筒的高度不能达到要求时，应按其高度对应的排放速率标准值严格50％执行；
3 排放氯气、氰化氢以及含有其他极毒物质废气的排气筒高度除应符合本条第1款、第2款要求外，还不应低于25m；
4 排气筒的出口风速宜为15m／s～20m／s；
5 排气筒上应设置用于检测的采样孔，并应设置相应的监测平台；
6 一定区域内同种污染物的废气系统，其排气筒宜合并设置；
7 排风口与机械送风系统的进风口的水平距离不应小于20m，当水平距离不足20m，排风口应高出进风口，并不应小于6m。
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3.0.18 本条是关于废气处理系统排气筒的设计要求。
排气筒的高度不仅要符合国家及地方环境保护的相关规定，而且还要注意符合本项目环境影响报告书的相关要求，实际工程情况表明，往往后者规定的排气筒高度远大于前者的要求。
第2～4款规定主要考虑有毒有害物质虽然经废气处理系统进行了处理，并达到了排放标准，但不等于无害，为了避免该废气未经充分扩散、稀释而降落地面被人员吸入，所以规定了最低的排气筒高度及较高的排放速度；同样的理由规定了第7款排气简要远离新风吸入口，废气处理系统总体设计时需考虑此因素。
第5款规定是为了方便环保监测人员测试废气处理效果及废气排放情况。

3.0.19 废气处理系统的风管应符合下列规定：
1 风管材料的防腐蚀性能应与其所接触的腐蚀性介质相适应；
2 集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管应采用不燃材料制作；
3 风管内的风速应符合生产环境对防微振的要求；
4 室外安装的排风管道应采取耐腐蚀措施，并应设置固定装置；
5 穿过沉降缝时应设置软连接，其材质应符合本条第1款要求；
6 风管的支吊架应根据风管的尺寸及重量进行设计。
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3.0.19 本条是废气处理系统风管的规定。
风管的防腐性能应与所接触的腐蚀性介质相适应，实际工程中，如废气中含有HF，当采用普通玻璃钢风管时，其骨架材料玻璃丝布就不能抵御HF的腐蚀，系统运行不久就得更换。另外，即使同为玻璃钢，但不同的树脂对各种酸性介质的抗腐蚀性能也是不一样的。
经调研发现，近几年集成电路前工序工厂和平板显示类工厂相继发生的几次火灾，起因基本与工艺生产有关，但多数情况火势是沿着非不燃材料的排风管道扩散、蔓延，引起更大范围内发生火灾，造成巨额财产损失，且有几起火灾甚至造成部分电子产品供应中断，引发市场价格发生波动。所以规定集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管要采用不燃材料制作。

3.0.20 符合下列条件之一时，风管应采取补偿措施：
1 穿过沉降缝时；
2 输送高温烟气的金属风管；
3 线膨胀系数不小50×10－6℃－1，且直段连续长度大于20m的非金属风管。

3.0.21 符合下列条件之一时，风管及配件应采取绝热措施：
1 室外安装的废气处理系统，其排风被冷却而可能形成凝结物堵塞或腐蚀风管；
2 除尘风管内可能有结露时；
3 所输送废气的温度大于或等于60℃。
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3.0.21 本条规定了风管及配件的绝热措施。
1 户外安装的废气处理系统风管及配件，当输送的废气中含有遇冷形成凝结物堵塞或腐蚀风管的物质，如苯蒸汽、硼蒸汽等，将影响废气处理系统的正常工作。
2 当除尘风管内表面结露时，粉尘将会沉积，并堵塞管道。
3 高温风管如不采取绝热措施，有烫伤人体的危险。

3.0.22 废气处理系统排风管的绝热应符合下列规定：
1 安装在洁净室(区)内排风管的隔热应采用不产尘的绝热材料，当使用产尘的绝热材料时，应为具有双层板夹绝热材料构造的成品绝热风管；
2 集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管，应采用不燃绝热材料进行隔热。
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3.0.22 洁净室(区)内的排风管，如直接采用产尘的绝热材料，一方面在施工过程中保温材料的纤维会在空气中飞扬，难以清除。另一方面有些排风系统的管道在运行过程中，难免需要增设接口或拆开检修等工作，从而对洁净空气造成污染，影响室内洁净度等级，且缩短送风末端过滤器的使用寿命。

3.0.23 废气处理系统的排风机宜采取自动调速措施。
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3.0.23 规定此条主要是考虑节能。

3.0.24 废气处理系统并联运行的排风机或处理设备应符合下列规定：
1 采用相同型号、相同性能的设备；
2 在每台风机或处理设备的入口设置电动或气动密闭风阀，该风阀在工作压力下的漏风率不应大于1％。
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3.0.24 排风机并联工作比较复杂，尤其是对具有峰值特性的不稳定区在多台排风机并联工作时易受到扰动而恶化其工作性能；因此设计时要慎重对待，否则不但达不到预期目的，还会无谓地增加能量消耗。为简化设计和便于运行管理，条文中规定，在排风机联合工作的情况下，要尽量选用相同型号、相同性能的排风机并联。当排风机并联安装时，要根据排风机和系统的风管特性曲线，确定联合工况下的风量和风压。另外，通风机并联工作时，设置是否合理也是至关重要的，实际工程中经常出现由于并联运行的风机台数过多或布置不当，实测结果经常达不到预期的总风量。

3.0.25 排除或输送有燃烧或爆炸危险物质的风管，不应穿过防火墙和防火隔墙；其余酸性、碱性、挥发性有机物和特种废气系统的风管不宜穿越防火墙或防火隔墙，当必须穿越时，防火阀的设置应符合下列规定：
1 不应设置熔片式防火阀；
2 含有极毒和剧毒物质的排风系统不应设置防火阀，但紧邻建筑构件其中一侧的排风管应采用与建筑构件耐火极限相同的构造进行保护。
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3.0.25 规定本条是为了防止防火阀的误动作而造成排风系统的失效，从而引发安全和生产的事故。另外，即使发生火灾时也不要将此类排风系统停止运行。因为一方面排风系统可兼作排烟功能，另一方面一旦停止运行，工艺生产设备将向车间内散发比烟气毒性更大的有害物质。为了达到上述要求，设计人员要在前期方案设计时合理规划，并与相关专业密切配合，尽量避免风管穿越防火分区墙。

3.0.26 当采用非再生式固定床吸附剂处理废气时，吸附剂的连续工作时间不应短于3个月。
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3.0.26 规定本条是避免频繁更换吸附剂，并减少更换吸附剂对生产的影响，所以吸附剂填料量要满足其更换周期不短于3个月的要求。

3.0.27 废气处理系统排风机的单位风量耗电功率限值应符合现行国家标准《电子工程节能设计规范》GB 50710的有关规定。

3.0.28 废气处理系统产生的噪声，当自然衰减不能达到室内外环境允许噪声标准时，应采取消声或隔声措施。
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3.0.28 废气处理系统的风机、处理设备等产生的噪声，影响主要有两个方面，一方面是影响室内环境，要尽量用风管、弯头和三通等部件以及房间的自然衰减降低或消除。当仅靠自然衰减不能满足室内噪声要求时，则需在风机吸入段的排风管路系统中设置消声装置或采取其他消声措施，如采用管式消声器等。另一方面是室外环境，当仅靠自然衰减不能满足厂界和厂区噪声要求时，则要在风机压出段的排风管路系统中设置消声装置，必要时需对风机设置隔声罩。

3.0.29 当废气处理系统的风机、水泵、风管等产生的振动靠自然衰减不能满足要求时，应采取隔振措施，其设计应符合下列规定：
1 宜采用隔振台座；
2 应选用刚度适宜的隔振器；
3 安装在有微振要求区域内的风管宜采用隔振支、吊架。
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3.0.29 电子工业生产过程大部分为精密加工，对微振通常有较严格的要求，废气处理系统中的风机、水泵等在运行时会产生较强烈的振动，如不予以妥善处理，将会对工艺生产产生不利影响，所以需采取隔振措施。另外，对有微振要求的电子工厂，排风管道也是一个不可忽视的振动源，当排风管道布置于有微振要求的区域内或附近时，也需采取隔振措施，如采用减振支、吊架，风管下设置隔振垫等。

3.0.30 排风总管应设置测定孔，排风支干管应设置风量调节阀。排风支干管较多的废气处理系统，每个支干管末端宜设置微压计。
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3.0.30 排风支干管设置风量调节阀，是便于各支干管风量的调节。排风总管设置测定孔是便于风量、风压、有害物浓度等的测试。对于系统较大、排风支干管较多的废气处理系统，每个支干管末端设置微压计，是利于系统风量和压力平衡以及二次配管的实施。

3.0.31 酸性、碱性、特种废气和除尘系统的排风管应采用圆形，其他废气系统的排风管宜采用圆形或长边与短边之比不大于4的矩形截面。
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3.0.31 考虑风管的气流特性、强度、材料消耗等因素，风管截面采用圆形是最为合理的，但考虑到风管安装所占用的空间，某种情况下采用矩形风管也是一个不错的选择。而酸性、碱性和特种废气系统的排风管通常有凝结液产生，所以风管截面需为圆形，以利于凝结液的收集、排除。

3.0.32 选择废气处理设备时，应符合下列规定：
1 设备的额定处理风量应在系统计算的总风量上附加10％；
2 循环泵的流量应在系统需求流量值上附加10％；
3 酸、碱、特殊及挥发性有机物废气处理设备在工作压力下的漏风率不应大于1％；
4 处理设备的承压能力不应低于工作压力的1.5倍。
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3.0.32 本条是关于选择废气处理设备的要求。
1 在工业通风系统运行过程中，由于风管和设备的漏风会导致排风口处的风量达不到设计值，甚至会导致室内有害物浓度达不到设计和卫生标准的要求。为了弥补系统漏风可能产生的不利影响，选择末端处理设备时，需根据系统的类别(低压、中压或高压系统)、风管内的工作压力、设备布置情况以及系统特点等因素，附加系统的漏风量。
2 考虑流量分配不均匀性等因素，循环泵的流量要在系统需求流量的基础上附加10％。
3 规定此款是为了提高废气处理系统的运行效率，保证车间内工艺设备排风口的排风量，以及废气处理系统的运行安全。
4 规定此款是为了确保废气处理设备在工作压力下运行时，不会发生由于强度问题而变形，另外废气处理系统在运行过程中也会发生压力波动的情况，为确保系统安全运行，所以考虑了一定的安全系数。

3.0.33 选择废气处理系统的排风机时，应符合下列规定：
1 应满足工况参数及废气的温度、腐蚀性、爆炸性等特性要求；
2 风机的风量应在系统计算的总风量上附加10％；
3 排风机风压应满足管路、处理设备和末端工艺设备需要的负压；
4 采用自动调速排风机时，排风机的压力应以系统计算的总压力作为额定风压，但风机电动机的功率应在计算值再附加15％～20％；
5 排风机的选用设计工况效率不应低于风机最高效率的90％。
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3.0.33 本条是关于选择排风机应考虑的因素及要求。
1、2 选择风机的基本特性要求。
3 工艺设备一般要求排风口处满足一定的负压要求，如某些设备酸排风要求为－500Pa，排风机风压需包括此部分的压力。
4 规定本款是考虑系统阻力计算的不精确性，系统计算工况与实际工程施工后的工况间的差异以及选用的风机性能与实际安装的风机性能间的差异等因素。
5 当系统的设计风量和计算阻力确定以后，选择通风机时需考虑的主要问题之一是通风机的效率。在满足给定的风量和风压要求的条件下，通风机在最高效率点工作时，其轴功率最小。在具体选用中由于通风机的规格所限，不可能在任何情况下都能保证通风机在最高效率点工作，因此条文中规定通风机的设计工况效率不要低于最高效率的90％。一般认为在最高效率的90％以上范围内均属于通风机的高效率区。根据我国目前通风机的生产及供应情况，做到这一点是不难的。

3.0.34 处理设备的入口和出口应设置采样口，宜设在气流稳定段。
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3.0.34 废气处理设备的入口和出口设置采样口，以便于采样检测。

3.0.35 废气处理系统宜设置污染因子在线监测装置。
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3.0.35 设置在线污染因子监测装置可以及时监测和记录系统排放情况。

3.0.36 排风系统应设置运行状态及排风系统故障的监控报警系统。

4工艺及工艺设备

4.1 一般规定

4.1 一般规定

4.1.1 工艺设备应根据废气污染物的性质分类独立设置排出口。
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4.1.1 根据电子工业工艺加工性质，主要有酸性废气、碱性废气、挥发性有机物(VOCs)废气、含尘废气、特种废气)玻璃窑炉废气。表1是电子工业典型生产工序排出的废气类别，表2是典型生产工序排出废气的主要成分。

4.1.2 生产所用的原辅材料应符合清洁生产要求以及相关限制性规定。
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4.1.2 企业要优先采用清洁生产技术、工艺和设备，采用无毒、无害或者低毒、低害的原料，替代毒性大、危害严重的原料，优先使用低氟材料。企业要根据生产工艺、化学品使用清单、有毒有害物质清单等进行分析论证，符合清洁生产指标要求，达到较高的清洁生产水平。同时，限制使用有害的化学品是全球的发展趋势，企业需承担社会责任，要符合《中国禁止或严格限制的有毒化学品名录》等相关限制性规定。

4.1.3 生产过程中不宜使用极毒、剧毒物质，当不可避免使用上述有害物质时，应采用自动化设备，并应采取密闭、隔离和负压操作措施，同时应进行物料平衡计算。
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4.1.3 当生产过程中使用含砷烷、磷烷、乙硼烷、铅蒸气、汞蒸气和氰化物等极毒、剧毒物质时，一般是由生产厂家提供相关数据，在环境评价阶段完成物料平衡计算，控制排放量。

4.1.4 工艺设备当使用可产生全球性温室效应的全氟化合物时，应采取密闭系统，并应独立设置排出口。
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4.1.4 半导体集成电路和平板显示生产过程中，化学气相淀积、干法刻蚀等工序使用的具有全球变暖潜能(GWP)的氟化合物，包括全氟化合物：四氟化碳(CF₄)、六氟乙烷(C₂F₆)、八氟丙烷(C₃F₈)、八氟环丁烷(c-C4F₈)、三氟化氮(NF₃)、六氟化硫(SF₆)、三氟甲烷(CHF₃)和氢氟碳化物(HFCs)等。

4.1.5 产生同种废气的工艺设备宜集中布置。
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4.1.5 根据排放废气的种类和性质，集中布置工艺设备，以便废气集中收集。

4.1.6 有毒有害气体储罐应装设限流阀。
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4.1.6 考虑当有毒有害气体发生泄漏事故时，事故排风系统的有效性以及事故排风系统和相对应的废气处理系统的规模，有毒有害气体的泄漏速率要控制在一定的范围内，所以在有毒有害气体的供应源头，即储罐出口处需装设流量限制阀。实际工程中有毒有害气体储罐出口装设的最大流量为30L／min的限流阀，既能符合生产供应要求，又能很好地控制发生事故时的有毒有害气体泄漏速率。

4.2 污染物控制

4.2 污染物控制

4.2.1 生产工艺宜采用先进的技术和装备，减少有毒有害物质的产生量。
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4.2.1 生产工艺采用先进的技术和装备，可以减少有毒有害物质的产生量。例如，在半导体工艺中通过改进生产工艺，降低光刻次数，降低化学品的消耗，从而降低挥发性有毒有害废气的排放量；在平板显示器件制程的涂胶工序中，可以采用非甩胶的工艺设备代替甩胶工艺设备，降低光刻胶的使用量，从而降低挥发性有机物的排放量。

4.2.2 工艺设备中产生有毒有害物质的腔体应采取排风措施，并应保持满足工艺要求的负压值。
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4.2.2 根据走访调研，一些高污染的典型电子工业下艺设备废气排放压力设定见表3～表6。

4.3 应急设施

4.3 应急设施

4.3.1 使用有毒有害物质的工序宜选用具有自动化、固定式安全保护系统的工艺设备。
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4.3.1 工艺设备的安全保护系统通过配备紧急状态侦测切断装置，控制有毒有害气体的扩散。
固定式安全保护系统指该系统就地设置在工艺设备上，不可移动，供其他设备使用。
工艺设备包括工艺设备主体和附属部件，如气体储气柜、分配箱、封闭箱体、密闭反应腔室等。

4.3.2 有毒有害物质的化学品和特气分配供应系统，应配备自动检测、报警、安全互锁切断装置。
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4.3.2 有毒有害物质的化学品和特气分配供应系统应该有泄漏和排风压力下限报警连锁和切断特种气体、化学品供应的功能。当排风风压降低至预先的设定值时，发出警报信号，并且将工艺设备置于安全待机状态，同时切断特种气体、化学品的供应。

4.3.3 使用有毒有害化学品和特殊气体的工艺设备应设置事故应急设施，并应具备接受外部报警信号并实施紧急切断和报警的功能。
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4.3.3 化学品和特殊气体在意外泄漏情况下，首先要避免化学品和特殊气体向环境扩散，以保证附近操作人员的人身安全；其次要切断设备运行，以保证设备自身的安全性；最后考虑加工产品的产品质量。
工艺设备一般配置如下接口，以便接受报警信号：
(1)预留接口联通至本地气体泄漏侦测报警装置，接受外部异常报警信号；
(2)预留接口联通至本地废气处理装置，接受该装置的异常报警信号；
(3)预留接口联通至本机废气排出装置(如干泵)，接受该装置的异常报警信号；
(4)预留接口联通至本机附属的其他需排风的装置(如工艺气体柜、密闭主机台外罩等)，接受该部分的异常报警信号；
(5)在操作位置附近安装紧急制动开关，确保工艺设备的紧急切断；
(6)在侦测到以上外部报警信号时，需启动本机安全互锁，切断本机工艺气体输送，发出代表本机异常声光报警信号，并向生产控制计算机系统发送指定的警报代码。

'>《电子工业废气处理工程设计标准》GB 51401-2019

 引用标准名录

引用标准名录

《建筑设计防火规范》GB 50016
《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB 50019
《城镇燃气设计规范》GB 50028
《建筑照明设计标准》GB 50034
《供配电系统设计规范》GB 50052
《建筑物防雷设计规范》GB 50057
《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058
《石油化工企业设计防火规范》GB 50160
《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243
《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计规范》GB 50493
《电子工程节能设计规范》GB 50710
《粉尘爆炸泄压指南》GB／T 15605
《排风罩的分类及技术条件》GB／T 16758
《粉尘爆炸危险场所用收尘器防爆导则》GB／T 17919
《石油化工储运系统罐区设计规范》SH／T 3007
《火力发电厂烟风煤粉管道设计技术规程》DL／T 5121
《环境保护产品技术要求??工业废气吸附净化装置》HJ／T 386
《环境保护产品技术要求??工业废气吸收净化装置》HJ／T 387